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晶圆级射频测试

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摘要｜Z｜Probe晶圆上射频探针采用了1Mx技术，通过最小化信号损耗、反射和串扰，以及扩展频率范围，它提高了探针的高频性能。当表征纳米级射频和微波器件时，优化的设计为测试工程师提供了更高的测量精度。此外，｜Z｜Probe强大的设计还能确保其寿命长达100万次。

出处《集成电路应用》 2009年第11期44-44,共1页 Application of IC

关键词射频测试晶圆频率范围高频性能微波器件测量精度最小化纳米级

分类号 TN916.9 [电子电信—通信与信息系统] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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集成电路应用

2009年第11期

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