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硅微热致动泵设计及其加工工艺的研究 被引量：2

Design of Thermo-Driven Silicon Micropump and Research on Its Fabrication Processes
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摘要 本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。 This paper presents a novel structure of thermo-driven silicon micropump. The fabrication processes of this micropump are analyzed in summay and measured in individual experiments. The experiment results are credible and useful.
作者 崔天宏 周兆英 王晓浩 叶雄英 杨岳
机构地区 清华大学精密仪器系
出处 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 1998年第8期10-13,共4页 Instrument Technique and Sensor
关键词 微型机械 微型泵 硅微加工工艺 硅微热致动泵 Micromachine, Micropump, Bulk Silicon Process.
分类号 TH－39 [机械工程]
  • 相关文献

参考文献1

共引文献16

同被引文献16

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引证文献2

二级引证文献10

仪表技术与传感器
1998年 第8期

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