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离子泵/离子规的工作原理与维护

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摘要 １引言许多大型进口分析仪器（如ＰＨＩＬＩＰ公司生产的ＣＭ１２型透射电子显微镜）在工作时，为了在其真空室内产生和维持较高的真空氛围，一般采取的办法是设备开机后，机械真空泵和油扩散泵依次投入工作，吸收和排出真空室内的大部分气体。当真空室内的气压下降到０．...
作者 李斌
机构地区 武汉汽车工业大学电子与信息学院
出处 《电子仪器仪表用户》 1998年第5期30-32,共3页
关键词 分析仪器 真空室 真空度 离子泵 离子规
分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]
  • 相关文献
电子仪器仪表用户
1998年 第5期

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