摘要
精密自动定位器根据象散性原理研制而成。该定位器由非接触式光学传感头、移位控制驱动器以及精密执行机构三部分组成，已成功地用于非接触式纳米级光外差轮廓测量仪的调焦系统中，其定位精度可达±０．１μｍ。
An automatic precision positioner is developed by the authors,based on the principle of astigmatism.The positioner cosists of a noncontact optical sensing head,a movingpositioning controller,and a pre
出处
《机械与电子》
1998年第1期33-34,共2页
Machinery & Electronics
关键词
非接触测量
闭环控制
自动定位器
象散性原理
Automatic positioner Principle of astigmatism Noncontact measurement Closecycle control
