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澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

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摘要 澳大利亚莫纳什大学的研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之一——电子束曝光系统(EBL)。该系统可在纳米级的物体上进行书写或者蚀刻。
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2009年第11期10-10,共1页 Laser & Optoelectronics Progress

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