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机械科学的新边疆──微机电一体化技术
被引量:
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摘要
微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技,是21世纪科学技术发展的前沿领域,介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。
作者
刘强
郑莹娜
陈益民
李定华
机构地区
广东工业大学
出处
《机械设计与制造》
北大核心
1998年第5期53-54,共2页
Machinery Design & Manufacture
关键词
微机电一体化
微/纳米技术
超微细加工
机械学
分类号
TH-39 [机械工程]
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机械设计与制造
1998年 第5期
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