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微几何量评定总则研究

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摘要 本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论。
出处 《机械工业标准化与质量》 2009年第11期47-48,共2页 Machinery Industry Standardization & Quality
基金 国家高技术研究发展计划基金项目(项目编号2007AA04Z354)研究成果
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