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溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现
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摘要
介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0~5 mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环境小量程间隙的测量。
作者
王海清
邹其利
朱大治
张世名
机构地区
航天长征火箭技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期281-283,312,共4页
Instrument Technique and Sensor
关键词
测量弹簧
溅射膜片
组合技术
动态间隙测量
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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仪表技术与传感器
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