溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合技术用于毫米级位移测量的分析与实现

介绍溅射膜片微应变与精密测量弹簧组合测量位移技术,将0～5 mm位移转变为与其成比例的电压信号,分析、讨论了传感器工作原理与设计方法。地面和飞行试验结果显示,该组合技术具有良好的静态测量精度和动态响应性能,适用于飞行器动态环境小量程间隙的测量。