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两个微电子生产用洁净厂房的工程比较

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摘要从系统设计、空气处理、气流组织、净化方式、噪声控制等方面对日本“三机”

作者李萌范存养

机构地区上海市四平路

出处《洁净与空调技术》 1998年第4期10-14,共5页 Contamination Control & Air-Conditioning Technology

关键词微电子洁净厂房工程比较洁净室

分类号 TN605 [电子电信—电路与系统] TU834.854 [建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]

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洁净与空调技术

1998年第4期

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