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高纯三氯氢硅精制技术改造 被引量:10

Technical Transformation of High-Purity Trichlorosilane Refining Process
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摘要 论述了某厂2×104t/a三氯氢硅的提纯技术改造,并利用化工过程模拟软件Aspen Plus模拟了数据与现场数据对比,结果表明,改造后三氯氢硅中的硼的含量和精馏系统的尾气排放量得到了大幅度的降低,三氯氢硅的纯度和收率均得到了有效的提高。 In this paper,a technical transformation project of a(20 000 t/a) trichlorosilane production capacity plant was introduced in detail,and chemical process simulation software ASPEN was used to simulate and the simulation data were compared with the field data.The comparison results showed that: after the transformation,the boron content in the trichlorosilane and the exhaust emissions in the distillation system have a significant decline,both trichlorosilane purity and yield have an effective improvement.
出处 《化学工业与工程》 CAS 2009年第6期532-534,共3页 Chemical Industry and Engineering
关键词 三氯氢硅 多晶硅 ASPEN PLUS trichlorosilane polysilicon Aspen Plus
  • 相关文献

参考文献15

二级参考文献23

  • 1李秀华,宋明霞,代罡.氯化氢生产工艺探讨[J].中国氯碱,2004(8):15-16. 被引量:9
  • 2朱骏业.三氯氢硅合成尾气的综合回收[J].世界有色金属,1995,20(6):25-28. 被引量:9
  • 3肖振华.化工百科全书(第6卷)[M].北京:化学工业出版社,1994.332-336.
  • 4[1]孙效平.化工环境保护设计手册[M].北京:化学工业出版社,1998.
  • 5GB50160-92 1999.石油化工企业设计防火规范[s].[S].中国石油化工总公司,..
  • 6戴耀南 张希衡.环保工作者实用手册[M].北京:冶金工业出版社,1984.835-836.
  • 7HG 20546-92.化工装置设备布置设计规定[S].
  • 8[J]. The Rare Metal News, 2005, April. 16.
  • 9[J]. The Rare Metal News, 2006, July. 8.
  • 10[J]. The Rare Metal News, 2006, March. 1.

共引文献178

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引证文献10

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