平膜式流量芯片的研制

Research on Plate Diaphragm Type Flow Sensor

本文介绍了一种平膜结构的流量芯片,阐述了其结构设计、电路设计等关键技术,同时也对该芯片制成的流量传感器进行实验验证。实际测量和使用表明:该传感器具有测量精度高、体积小、功耗低、一致性好、互换性好等特点。