正弦调制薄膜的表征及测量误差分析
Characterization of Sine Amplitude-modulated Film and Measuring Error Analysis
摘要
本文介绍调制薄膜的表征及测量误差分析,主要包括调制薄膜表面形貌的观测、振幅与波长的精确测量及测量误差分析两个部分。实验结果表明,利用本文所述方法可满足对调制膜的精确测量。
出处
《计量与测试技术》
2009年第11期44-45,共2页
Metrology & Measurement Technique
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