细长管筒内表面等离子体强化处理方法

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摘要介绍了几种细长管筒内表面等离子体强化改性方法:等离子体增强化学气相沉积方法、物理气相沉积方法、等离子体源离子注入技术,并对其优缺点进行了比较分析.

作者杨光

机构地区中国兵器工业第五九研究所信息中心

出处《四川兵工学报》 CAS 2009年第11期133-135,146,共4页 Journal of Sichuan Ordnance

关键词细长管筒内表面强化改性 PECVD PVD PSII技术

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2009年第11期

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