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MEMS成为超越摩尔定律的突破口
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摘要
半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期,而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐,其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前,在由上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室、《半导体国际》、
作者
王志华
出处
《电子设计技术 EDN CHINA》
2009年第12期34-35,共2页
EDN CHINA
关键词
MEMS
设计制造
FABLESS
IDM
FAB
MEMS论坛
分类号
TP332 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
TH-39 [机械工程]
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被引量:1
电子设计技术 EDN CHINA
2009年 第12期
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