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MEMS成为超越摩尔定律的突破口

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摘要 半导体技术在摩尔定律上似乎走入了瓶颈期,而超越摩尔定律的新兴技术却受到了众多公司的青睐,其中MEMS以无处不在的应用潜力攫取了业界大大小小公司的眼球。日前,在由上海微系统与信息技术研究所、传感技术国家重点实验室、《半导体国际》、
作者 王志华
出处 《电子设计技术 EDN CHINA》 2009年第12期34-35,共2页 EDN CHINA
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