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化学气相沉积金刚石薄膜研究及应用
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摘要
本文论述和研究了化学气相沉积金刚石薄膜的不同途径,并对各种不同方法进行了分析和评价。同时,对金刚石薄膜在工业上的应用进行了介绍。研究表明,金刚石镀膜技术在工业上有着巨大的应用潜力。
作者
刘伟
机构地区
大连教育学院
出处
《五金科技》
1998年第5期24-26,共3页
Hardware
关键词
化学气相沉积
金刚石薄膜
薄膜沉积
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TB43 [一般工业技术]
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