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化学气相沉积金刚石薄膜研究及应用

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摘要 本文论述和研究了化学气相沉积金刚石薄膜的不同途径,并对各种不同方法进行了分析和评价。同时,对金刚石薄膜在工业上的应用进行了介绍。研究表明,金刚石镀膜技术在工业上有着巨大的应用潜力。
作者 刘伟
机构地区 大连教育学院
出处 《五金科技》 1998年第5期24-26,共3页 Hardware
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