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摘要广义上的MEMS技术已经跨越了两个世纪,从最早的照相制版应用到现在的各种加速度传感器应用,在它的发展过程中不断吸收了各种优秀的技术。

作者徐俊毅

出处《电子与电脑》 2009年第12期8-8,共1页 Compotech

关键词 MEMS技术传感器应用照相制版加速度

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] U472.9 [机械工程—车辆工程]

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电子与电脑

2009年第12期

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