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测试技术

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摘要 MEMS器件晶圆级测试的优势 ·晶圆进入市场之前的最终测试非常重要。然而，除了最终测试，晶圆级的筛选测试对降低批量生产的制造成本也很关键。晶圆测试的目的在于：

出处《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第12期770-771,共2页 Micronanoelectronic Technology

关键词测试技术晶圆测试 MEMS器件制造成本批量生产

分类号 TN307 [电子电信—物理电子学] TH-39 [机械工程]

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微纳电子技术

2009年第12期

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