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逐步国产化的星弧高端PVD涂层设备

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摘要 物理气相沉积(PVD)是一种在真空状态下,通过气体放电或被蒸发物质部分离化,在基材表面附着一层异性材料的技术,该异性材料(涂层)因能显著改善基材的某些物理化学性能,被以高精度、高品质和低成本为特征的汽车、电子、精密加工及半导体等现代制造业广泛应用。
作者 张合忠
出处 《金属加工(冷加工)》 2009年第24期13-14,共2页 MW Metal Cutting
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