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澳大利亚研制纳米电子束曝光系统
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摘要
据澳大利亚莫纳什大学网站报道,澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
出处
《现代科学仪器》
2009年第5期109-109,共1页
Modern Scientific Instruments
关键词
电子束曝光系统
澳大利亚
纳米设备
研究人员
纳米级
蚀刻
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TN401 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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纳米电子束曝光系统[J]
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9
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统是制作微小纳米电子元件的最佳设备[J]
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10
章从福.
澳大利亚研制纳米电子束曝光系统是制作微小纳米电了元件的最佳设备[J]
.半导体信息,2009(5).
现代科学仪器
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