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澳大利亚研制纳米电子束曝光系统

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摘要 据澳大利亚莫纳什大学网站报道,澳大利亚研究人员正在研制世界最强大的纳米设备之——电子束曝光系统(EBL)。该系统可标记纳米级的物体,还可在比人发直径小1万倍的粒子上进行书写或者蚀刻。
出处 《现代科学仪器》 2009年第5期109-109,共1页 Modern Scientific Instruments

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