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光栅及几何量精密测量

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摘要 1引言几何量的测量,包括长度(位移)测量和角度(角位移)测量。目前用于几何量测量的仪器,普遍存在精度较低、易受周围环境条件(如温度)的干扰,不能或不易实现计算机自动化测量等缺点,不能满足几何量精密测量领域的应用要求。20世纪50年代,人们开始利用光栅...
出处 《电子仪器仪表用户》 1998年第6期46-47,共2页
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