摘要
介绍了应用SSPD传感器实现光电精密测径的系统工作原理以及系统各部分结构。
This paper introduces the principle of operation and system structure of SSPD sensor in the photoelectric precisie diameter measureing system.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1998年第9期31-33,共3页
Instrument Technique and Sensor