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Si_(1-x)Ge_x/Si界面区的会聚束电子衍射研究
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职称材料
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摘要
会聚束电子衍射(CBED)技术是研究材料中纳米级微小区域结构特征的重要方法,在材料,物理,晶体学等学科有广泛的应用,特别是应变异质材料性能的一种极为重要的研究技术。采用Tanaka大角会聚束衍射(LACBED)方法时,由于入射束不聚焦在试样平面上,可...
作者
秦志宏
柳得橹
莫庆伟
范缇文
机构地区
北京科技大学材料物理系
中国科学院半导体材料科学实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第5期505-506,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词
硅/锗硅
薄膜
会聚束电子衍射
界面
分类号
O484.8 [理学—固体物理]
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电子显微学报
1998年 第5期
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