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Si_(1-x)Ge_x/Si界面区的会聚束电子衍射研究

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摘要 会聚束电子衍射(CBED)技术是研究材料中纳米级微小区域结构特征的重要方法,在材料,物理,晶体学等学科有广泛的应用,特别是应变异质材料性能的一种极为重要的研究技术。采用Tanaka大角会聚束衍射(LACBED)方法时,由于入射束不聚焦在试样平面上,可...
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期505-506,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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