Mo/B4C多层膜界面热稳定性的TEM研究

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摘要软Ｘ射线光学多层膜反射镜应用于Ｘ射线激光、Ｘ射线显微镜、望远镜、Ｘ射线曝光机，同步辐射引出装置等，作为关键部件。这种多层膜由高原子序数和低原子序数的两种材料交替沉积堆垛而成。可看作间距纳米量级的一维晶体。目前Ｍｏ／Ｓｉ多层膜应用在波长为１３ｎｍ左右，...

作者薛钰芝沈长斌林纪宁马月英曹建林

机构地区大连铁道学院长春光机所应用光学国家实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期545-546,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词界面热稳定性 MoB4C 多层膜 TEM

参考文献1

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电子显微学报

1998年第5期

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