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JSM-35C扫描电镜检修实例

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摘要真空系统单元故障１．循环水系统失灵引起自动关机。［现象］开机后约１０多分种，自动关机。［检修］开机后短时间自动关机，一般是空压机或供水系统有故障。经检查，是循环冷却水系统坏了，不降温。这是因为开机后，扩散泵加热，当油温超过６０℃时，温度继电器ＴＨ－１...

作者阮世池

机构地区电子科技大学材料分析中心

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第5期670-671,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词扫描式电子显微镜检修

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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电子显微学报

1998年第5期

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