二维亚波长光栅严格耦合波分析理论的研究

研究了二维亚波长光栅的严格耦合波分析(RCWA)理论,并分析了其数值稳定性。针对耦合波理论数值计算中出现数值溢出的可能性提出了一种提高数值稳定性的方法,并给出了数值稳定性(能量守恒与数值收敛)的验证,结果表明,能量守恒与数值收敛被很好地满足。