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10.6ev真空紫外光源的研制及测试

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摘要 本文介绍了光子能量为10.6ev真空紫外无极放电灯的工作原理、并对该灯所涉及到的关键材料及工艺的控制进行了探讨,同时也介绍了采用远真空紫外(0-200nm)光电倍增管建立辐射强度对比测试系统的方法。
出处 《光电技术》 2009年第4期4-5,共2页
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