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北方微电子“等离子刻蚀机”荣获2009年度“国家科技进步二等奖”
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摘要
2010年1月11日,一年一度的国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行,党和国家领导人胡锦涛、温家宝、李长春、习近平、李克强出席大会并为获奖代表颁奖。国家科学技术奖励是我国科技界的一大盛事,更是对我国科技创新能力的一次大检阅,各大奖项的归属已成为科技界乃至全社会关注的焦点。
出处
《中国集成电路》
2010年第2期2-3,共2页
China lntegrated Circuit
关键词
国家科技进步二等奖
等离子刻蚀机
国家科学技术奖励大会
微电子
北京人民大会堂
北方
科技创新能力
国家领导人
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ264.11 [化学工程—有机化工]
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中国集成电路
2010年 第2期
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