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SAW加速度传感器差动结构的改进 被引量:3

The improvement of differential scheme SAW accelerometer
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摘要 本文主要研究了传统的悬臂梁式SAW加速度传感器差动结构并对其差动方案进行了改进,不仅进一步抑制了温度干扰因素对加速度传感器的影响,而且降低了其加工制作的难度。
出处 《制造业自动化》 北大核心 2010年第2期184-185,共2页 Manufacturing Automation
关键词 SAW 谐振 频率
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参考文献1

同被引文献21

引证文献3

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