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改进型三氯氢硅合成工艺初探 被引量:15

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摘要 传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应.此法中,约有15~20%的副产物四氯化硅产生,存在原料消耗高,产品成本高.新工艺应用化学平衡的原理,适当加入部分的四氯化硅,可抑制四氯化硅生成,吸收氯化氢中的微量水份,从而提高三氯氢硅的转化率,降低硅粉单耗,减少设备腐蚀,提高设备寿命.本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨,分析传统工艺之不足,以期能对现有生产和技术改造工作有所指导.
作者 丁国江
出处 《四川有色金属》 1998年第4期10-12,共3页 Sichuan Nonferrous Metals
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