FZ硅单晶中氧对晶体寿命的贡献——少子复合机构的转变

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摘要本文介绍了FZ硅单晶中由于氧的引入而引起晶体中微缺陷数量的变化,以及氧与微缺陷、杂质间的相互作用而形成络合物,使得硅中缺陷、杂质能级发生变化,而改变少于复合形式,从而使得晶体寿命随之变化.提出了特长寿命中少子复合的模拟.

作者王炎

机构地区峨眉半导体材料厂

出处《四川有色金属》 1998年第4期23-26,共4页 Sichuan Nonferrous Metals

关键词 FZ硅单晶晶体寿命硅单晶氧少子复合

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四川有色金属

1998年第4期

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