摘要
实验用了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛,对高纯钛制备中的形核过程进行了热力学和动力学分析,实验得出:沉积区温度应控制在1350K^1450K。
Experiments using chemical vapor deposition(CVD) preparation of high pure titanium,preparation of high pure titanium nucleation process of thermodynamic and kinetic analysis were made.Experiment results: deposition zone temperature should be controlled at 1350K~1450K.
出处
《轻金属》
CSCD
北大核心
2010年第2期55-58,共4页
Light Metals
关键词
CVD
高纯钛
动力学
CVD high purity titanium dynamics