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摘要 MEMS——一个健康发展的行业 由于MEMS器件使许多新产品成为了可能,因此MEMS领域在未来几年将迅速发展。 未来5年,消费产品(如Wii、iPhone、PicoP皮投影仪等)将会带来17%的平均增长。汽车市场将会有几个百分点的适度增长,而无线通信和生物医药领域的增长将会加倍。随着该领域的健康发展,越来越多MEMS制造商的产品量会迅速增加,这将增加对生产工具(刻蚀、光刻等)及材料(晶圆、化学用品等)的需求。
出处 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第2期128-128,共1页 Micronanoelectronic Technology
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