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ZnSnO3气敏元件灵敏度与加热电压的关系
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摘要
对ZnSnO3气敏元件特性的测试结果表明,元件灵敏度随加热电压的变化而变化,当加热电压小于某一特定值VH0时,灵敏度不变,当加热电压大于3倍VH0时,灵敏度降低,元件失效。通过X射线衍射和SEM二次电子能谱等检测实验,找出了气敏元件灵敏度降低的原因。
作者
刘焕林
吴兴惠
机构地区
云南大学物理系
出处
《云南大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
1998年第6期417-419,共3页
Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)
关键词
气敏元件
灵敏度
加热电压
ZnSnO3
氧化物半导体
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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云南大学学报(自然科学版)
1998年 第6期
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