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厚度对超薄类金刚石薄膜结构的影响

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摘要 采用真空阴极磁过滤电弧法(FCVA)沉积了不同厚度的类金刚石(DLC)薄膜,用波长为514.5nm的可见光拉曼光谱(Vis-Raman)和宽光谱变角度椭偏仪分析了薄膜的结构.实验结果表明,厚度影响DLC薄膜的结构.当DLC薄膜厚度从2nm增大到30nm时,Raman图谱中的G峰位置(G-pos)向高波数方向漂移,通过高斯拟合得出的D峰和G峰的强度比ID/IG减小,消光系数(Ks)逐渐减小,薄膜中的sp3键含量随厚度的增大而增大.当薄膜厚度从30nm增大到50nm时,ID/IG增大,Ks逐渐增大,薄膜中的sp3键含量减小.
作者 车晓舟 陈莲华 马洪涛 方宏新
机构地区 华南理工大学材料科学与工程学院 东莞新科磁电制品厂
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期302-305,共4页 Chinese Science Bulletin
关键词 超薄类金刚石薄膜 厚度 结构
分类号 O484.1 [理学—固体物理] O484.5 [理学—固体物理]
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科学通报
2010年 第3期

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