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一种新型激光位移传感器 被引量:1

Study of A New Displacement Sensor Using Laser Diode
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摘要 介绍了一种基于激光自混合干涉效应的位移传感器原理,给出位移干涉信号的理论模型,并进行了仿真分析,阐述了干涉信号的特征;建立了位移传感器的实验系统,进行了初步的实验研究,证明自混合干涉位移传感器具有与传统干涉仪相同的位移灵敏度. The principle of the displacement sensor based on the seif-mixing interference in laser diode is described, a theoretical model is given to explain the asymmetry of self-mixing interference signal and the experimentalresultS shows the displacement sensor based on the self-mixing inteIference has the same displacement sensitivity asa conventional interferomter.
出处 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期12-15,共4页 Journal of Harbin Institute of Technology
基金 国家自然科学基金!59675077
关键词 半导体激光器 位移传感器 激光位移传感器 Laser diode self-mixing interference displacement sensor
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