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4200测试系统在PCM参数测试中的应用
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摘要
为了使4200型半导体特性描述系统(以下简称4200系统)能够最大限度地发挥作用,根据工作需要将该系统首次用于PCM参数测试。同时,与使用传统的晶体管图示仪测试的PCM参数进行了对比。结果表明,4200系统在PCM参数测试中具有很高的实用性,为稳定工艺提供了可靠监控手段。
作者
明源
曾雪来
机构地区
中国兵器工业第
出处
《集成电路通讯》
2009年第4期46-50,共5页
关键词
晶圆
单管
PCM
SMU
分类号
TN912.3 [电子电信—通信与信息系统]
TU459 [建筑科学—岩土工程]
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