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HfO_2单层薄膜的微结构缺陷研究

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摘要 HfO2是一种优良的高折射率材料(在可见光区域折射率约为2),并且有良好的热稳定性,熔点也很高(约为2900℃).HfO2在紫外波段的透过性也比TiO2和ZrO2好,并且这个优点不是以牺牲它在可见波段、近红外及中红外的良好透过性能为代价的.因此,近年...
出处 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期961-962,共2页 Journal of Sichuan University(Natural Science Edition)
基金 中国工程物理研究院科技行业预研基金
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参考文献1

二级参考文献1

  • 1Chen Y S,1984年

共引文献3

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