摘要
精密定位工作台温度的变化直接影响工作台的定位精度。通过建立精密定位工作台热膨胀模型,分析工作台在不同固定方式下的温度变化对定位精度的影响,给出了基于温度精密测量的工作台定位精度实时补偿方法,并通过实验对补偿方法的效果进行了验证,证明方法有十分明显的补偿效果。
With the accuracy improvement af positioning stage,environmental affection have become one of the vital factors which can not be ignored. By establishment driving system mode of precision positioning stage and analyse temperature variation effecting on it,real-time error compensation based on precise temperature measurement can be concluded.
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2010年第3期112-114,共3页
Machinery Design & Manufacture
基金
国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450)
教育部高等学校重点学科建设资助项目(Y0102)
上海市重点学科建设资助项目(BB67)
