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快速傅里叶变换深能级瞬态谱测试系统

Fast Fourier Transform DLTS System
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摘要 提出了一套快速傅里叶变换深能级瞬态谱(FFT-DLTS)测试系统,分析了该系统的硬件构成和软件流程,并给出了一个实例分析。最后,将FFT-DLTS与常规DLTS作了对比。 In this paper a Fast Fourier Transform DLTS(FFT-DLTS) system is presented. The construction of the hardware and the flow diagram of the software are introduced. Then an example is given to analyze FFT-DLTS spectra. At last a comparison is made between FFT-DLTS and routine DLTS.
出处 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期431-436,共6页 Research & Progress of SSE
基金 国家自然科学基金
关键词 傅里叶系数 FFT-DLTS 测试系统 半导体材料 Fast Fourier Transform DLTS Fourier Coefficient Time Constant
  • 相关文献

参考文献3

  • 1陆--,J Phys Condens Matter,1997年,9卷,995页
  • 2孙恒慧,半导体物理实验,1985年,154页
  • 3Lang D V,J Appl Phys,1974年,45卷,3023页

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