摘要
提出了一套快速傅里叶变换深能级瞬态谱(FFT-DLTS)测试系统,分析了该系统的硬件构成和软件流程,并给出了一个实例分析。最后,将FFT-DLTS与常规DLTS作了对比。
In this paper a Fast Fourier Transform DLTS(FFT-DLTS) system is presented. The construction of the hardware and the flow diagram of the software are introduced. Then an example is given to analyze FFT-DLTS spectra. At last a comparison is made between FFT-DLTS and routine DLTS.
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第4期431-436,共6页
Research & Progress of SSE
基金
国家自然科学基金