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硅烷在现代科技中的地位
被引量:
5
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摘要
评述了硅烷在现代科技中应用的发展,介绍了硅烷在各个领域的应用,指出以更高的纯度、更低的成本、更大量地生产硅烷,充分发挥硅烷的特长,探索更广泛和独特的应用,制造无数优异的功能材料,21世纪硅烷应用的前景将十分广阔。
作者
胡晨展
余京松
姚奎鸿
机构地区
浙江大学材料系
出处
《低温与特气》
CAS
1998年第4期12-15,共4页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
硅烷
化学气相沉积
高纯度
硅
非晶硅
含硅薄膜
分类号
O627.41 [理学—有机化学]
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低温与特气
1998年 第4期
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