高纯气体的分析——高纯气体中痕量氧的分析被引量：1

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摘要１前言人类处在大气环境中，氧气维持着我们的生命。由于氧气无处不在，无孔不入，对于某些特殊领域，控制和防范它，成为一项高难度的课题。高纯气体的生产、使用过程，就面临这一问题。高纯气体中氧气的存在会带来什么样危害呢？在半导体生产工艺中，用到大量高纯气体，...

作者赵敏刘颖

机构地区化工部气体质量监督检验中心

出处《低温与特气》 CAS 1998年第4期64-66,共3页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词高纯气体痕量分析氧分析

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工] O655.11 [理学—分析化学]

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同被引文献2

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低温与特气

1998年第4期

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