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用RF或微波磁活化等离子体增强的平面磁控管溅射放电
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职称材料
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作者
豫民
出处
《等离子体应用技术快报》
1998年第11期6-7,共2页
关键词
RF
平面磁控管
薄膜
等离子体增强
溅射放电
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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1
邱清泉,励庆孚,苏静静,Jiao Yu,Finely Jim.
平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展[J]
.真空科学与技术学报,2007,27(6):493-499.
被引量:5
2
张以忱.
第十九讲 真空溅射镀膜[J]
.真空,2016,53(1):77-80.
等离子体应用技术快报
1998年 第11期
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