减压热CVD装置DSM9800
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4友达6代线试制出微晶硅TFT32in液晶面板[J].光机电信息,2008(6):66-66.
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5王建军,吕反修,邬钦崇,隋毅峰,周永成.用发射天线式微波等离子体CVD装置沉积大面积金刚石薄膜[J].高技术通讯,1994,4(11):14-16. 被引量：2
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7夏普和东京电子将成立太阳能电池生产设备合资公司[J].新材料产业,2008(3):83-83.
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8一弓.CVD薄膜成膜装置[J].等离子体应用技术快报,1997(11):10-10.
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9小室雅宏,晓曙.采用O_3-TEOS-BPSG膜和三步^(RF)偏压溅射法形成的平坦化技术[J].微电子技术,1994,22(4):29-34.
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10AMAT发布用于BSI型CMOS传感器的CVD装置以及复检SEM[J].传感器世界,2011,17(12):34-34.
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