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激光干涉仪测量直线度误差因素分析
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摘要
介绍了激光干涉仪进行直线度误差测量的原理，并详细讨论了直线度误差测量中影响测量精度的若干因素，最后给出直线度误差测量实例。
作者
赵东升
贾敏强
孙会庆
高冉
机构地区
山东省计量科学研究院
出处
《计量技术》
2010年第3期32-35,共4页
Measurement Technique
关键词
直线度误差
激光干涉仪
斜率误差
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
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