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超光滑表面加工技术 被引量:4

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摘要 阐述了超光滑表面的物理概念及在现代科学技术中的重要意义,同时系统介绍了超光滑表面加工技术国内外现状及各种加工术的原理和方法.这对于我们了解在该技术领域国际发展动向及促进国内光学工艺技术的提高和发展有积极作用。当前,我国在强激光、光电子、X射线激光和空间光学等高科技领域对超光滑表面的获得提出了迫切要求.而我们光学工艺现状还不能满足科学技术发展的需要,因而适时地进行这方面的研究工作是非常紧迫的任务。
出处 《激光与光电子学进展》 CSCD 1998年第11期1-9,共9页 Laser & Optoelectronics Progress
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