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质量流量控制器控制原理分析
被引量：
7
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摘要
质量流量控制器（ＭＦＣ）是一种闭环控制器，能根据设定值对气体“量”进行精确稳定控制，而不受气体压力、温度的影响。
作者
王胜利
机构地区
深爱半导体有限公司
出处
《电子工业专用设备》
1998年第4期33-36,47,共5页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体生产工艺
质量流量
气体
闭环控制器
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TM571.3 [电气工程—电器]
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