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PLC在风淋控制系统的应用 被引量:1

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摘要 我公司是生产半导体的厂家,对生产环境的洁净度要求相当高,工作人员必须先进入风淋室风淋后才能进入洁净室无尘车间。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,防止未被净化的空气进入洁净室。经高效过滤器过滤后的洁净气流由可旋转喷嘴从各个方向喷射至人身上,可有效迅速地清除尘埃粒子。
作者 瞿建刚
出处 《电世界》 2010年第3期22-25,共4页 Electrical World
  • 相关文献

参考文献1

  • 1廖常初.FX系列PLC编程及应用[M].北京:机械工业出版社,2006.

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