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快速与精确的AFM探针模型重构研究 被引量：8

Research on the reconstruction of fast and accurate AFM probe model
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摘要 在AFM扫描成像中,由于探针具有展宽效应等因素,导致扫描图像失真.从数学形态学角度看,可以认为真实图像失真是受到了探针针尖形貌卷积的作用,因而不能反映样品表面的真实形貌.采用反卷积运算处理可以排除这类扫描成像干扰,但需要准确知道探针针尖形貌,这对于AFM纳米扫描图像的精确重构具有实际意义.在已有的探针建模算法中,基于数学形态学的盲建模算法得到了广泛使用,然而该算法存在运算时间较长,最优降噪门限阈值很难确定等问题.针对这些问题,提出一种新的盲建模方法,可以提高盲建模运算速度,并且实现AFM扫描图像的精确重构.仿真和实验结果证明了上述研究方法的可行性和有效性.
作者 袁帅 董再励 缪磊 席宁 王越超
机构地区 中国科学院沈阳自动化研究所、机器人学国家重点实验室 中国科学院研究生院 Department of Electrical and Computer Engineering
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期396-400,共5页 Chinese Science Bulletin
基金 国家自然科学基金重点项目(批准号:60635040) 国家高技术研究发展计划(编号:2009AA04Z313,2009AA03Z316) 中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目
关键词 原子力显微镜 探针盲建模算法 多孔铝 数学形态学
分类号 TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
  • 相关文献

参考文献18

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二级参考文献71

共引文献19

同被引文献41

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引证文献8

二级引证文献18

科学通报
2010年 第4期

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