使用GCP快速测量表面粗糙度

照射在样本表面的激光束随着表面粗糙度的不同,反射光的密度分布将不同,表面粗糙度增大时,反射光的密度将被扩展。本根据这一原理,提出一种使用激光束快速测量表面粗糙度的无触点光学方法。该方法利用高斯曲线的系数,通过测量反射光的密度分布曲线的宽度,由高斯曲线系数的标准差,利用GCP测量表面粗糙度,给出了测量结果。