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论化学气相沉积(CVD)金刚石技术最新发展 被引量:8

Progress of CVD diamond technology
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摘要 描述了国内外化学气相沉积(CVD)金刚石技术研究及产业最新进展,介绍了CVD金刚石的基本生产方法、加工手段、产品类型及应用领域。通过对国内外CVD金刚石技术及产品研究最新进展情况的介绍,指出了我国与世界先进的(CVD)金刚石技术存在的差距,阐述了CVD金刚石市场发展存在的问题并提出改进的建议。 In the paper, the progress of research and industry of CVD diamond technology at home and abroad are described. And the basic method of production and processing, the type of product as well as the application areas.are introduced. By comparing the newest situation at home and abroad, the authors pointed out the gap about the CVD diamond's technology between china and other advanced countries, described the question about the development of CVD diamond's market in china and proposed the solution to the problems.
出处 《超硬材料工程》 CAS 2010年第1期22-27,30,共7页 Superhard Material Engineering
关键词 CVD 金刚石 沉积 加工 CVD diamond deposit machining
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